ЛОКТИОНОВ ЮРИЙ АНАТОЛЬЕВИЧ

  Использование: изготовление дифракционных решеток и дифракционных ответвителей . Сущность изобретений: способ включает нанесение на полинованную подложку слоя металла, формирование в нем штрихов и бомбардировку поверхности слоя пучком ионов инертного газа, которую осуществляют после формирования штрихов под углом 0-10° к поверхности слоя, в процессе ионной бомбардировки п...