ПИВОВАРОВ АЛЕКСАНДР ЛЬВОВИЧ

  Использование: относится к масс-спектрометрии вторичных ионов и может быть использовано для количественного анализа примесей в твердых телах. Сущность изобретения: в масс-спектрометрическом спо собе анализа, заключающемся в ионно-лучевом легировании твердого тела известным количеством определяемого элемента , распылении ионно-легированного слоя пучком первичных ионов и определени...