КОЛОДИН ВЯЧЕСЛАВ НИКОЛАЕВИЧ

  Устройство относится к производству полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, в частности к технике фотолитографии . Цель изобретения уменьшение расхода фильтрующего материала за счет осуществления возможности фильтрации в период между выдачей порций фоторезиста. Устройство включает входную и выходную камеры, герметически скрепленных между собой и разделенные фильтрова...