ГУЗЬ ВЛАДИМИР НИКОЛАЕВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения давления. Цель изобретения: увеличение тензочувствительности. Сущность изобретения интегральный преобразователь давления содержит выполненную за одно целое с основанием кремниевую мембрану, ориентированную в плоскости {100}, и расположенный на ее поверхности интегральный тензотранзистор. Эмиттер те...