КАЧУРОВСКИЙ ЮРИЙ ГРИГОРЬЕВИЧ

  Изобретение относится к полупроводниковым микроэлектронным первичным преобразователям концентрации водородсодержащих газов, используемым в технологических процессах микроэлектронной и химической промышленности, атомной энергетике. Элементы преобразователя выполнены на тонкой консоли, являющейся частью полупроводниковой подложки (толщиной не менее двух ОПЗ), что обеспечивает стаби...