ЗАВЬЯЛОВ ВЯЧЕСЛАВ ПАВЛОВИЧ

  Использование: групповые способы изготовления упругих балочных элементов Сущность изобретения: получают упругий элемент с сечением в виде прямоугольника или вогнутого шестиугольника при повышенной точности воспроизведения формы и размеров упругого элемента путем окисления пластины кремния до определенной толщины окисла, ориентации упругого элемента вдоль кристаллографического нап...