ЮССОН АЛЕКСАНДР ВИКТОРОВИЧ

  Использование: групповые способы изготовления упругих балочных элементов Сущность изобретения: получают упругий элемент с сечением в виде прямоугольника или вогнутого шестиугольника при повышенной точности воспроизведения формы и размеров упругого элемента путем окисления пластины кремния до определенной толщины окисла, ориентации упругого элемента вдоль кристаллографического нап...

  Использование: вакуумная технология, устройства для олучения тонкопленочных топологических рисунков. Сущность изобретения: при изготовлении маски для напыления тонкопленочных структур в пластине монокристаллического кремния ориентации СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (я)э С 23 С 14/04 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ...