Гатько Л.Е.

  Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов и может быть использовано при электрохимическом окислении полупроводников. Для оперативного контроля качества анодного окисла измеряют автокорреляционную функцию токового шума при подаче на систему полупроводник окисел электролит постоянного напряжения. О качестве окисла судят по наличию на измеренной характеристики участка с...