ЖИГУНОВ НИКОЛАЙ АНАТОЛЬЕВИЧ
Изобретатель ЖИГУНОВ НИКОЛАЙ АНАТОЛЬЕВИЧ является автором следующих патентов:

Устройство для эпитаксиального выращивания полупроводниковых материалов
Сущность изобретения: устройство содержит реактор, внутри которого размещен подложкодержатель, выполненный в виде диска, размещенного в основании и имеющего сателлиты. Под сателлитами в диске и основании выполнены газотранспортные и сбросные канавки. В устройстве имеются средства ввода и выводи газа. В диске соосно сателлитам выполнены кальцевые проточки, соединенные с началом га...
1784668