МАРИНИНА ЛАРИСА АЛЕКСАНДРОВНА

  Использование: в измерительной технике , в частности при изготовлении малогабаритных полупроводниковых датчиков водорода . Сущность: изобретение позволяет повысить выход годных при изготовлении датчиков за счет формирования над областью затвора транзистора временной алюминиевой защиты, нанесения низкотемпературной пленки SlOa, предотвращающей воздействие травителя для палладия на...