ОЛТУШЕЦ НИКОЛАЙ ПЕТРОВИЧ

  Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов и интегральных схем и может быть использовано в электронной промышленности для утонения полупроводниковых кристаллов без повреждения годных активных и пассивных элементов. Сущность изобретения: способ включает нанесение парафина на рабочую сторону пластины для планаризации рельефа , укладку ее рабочей стор...

  Использование; защита окружающей среды от отработанных токсичных газов при производстве электронной техники. Сущность изобретения: после ввода в реакционную камеру исходных реагентов, нагрева и их разложения на подложке отработанные газы нейтрализуют в оросительной колонке во взвешенных частицах раствора-абсорбента следующего состава: мас.%: гидроокись калия. 20-25; оксихлорид на...