ПЕНЬКОВ АНАТОЛИЙ ПЕТРОВИЧ

  Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов и интегральных схем и может быть использовано в электронной промышленности для утонения полупроводниковых кристаллов без повреждения годных активных и пассивных элементов. Сущность изобретения: способ включает нанесение парафина на рабочую сторону пластины для планаризации рельефа , укладку ее рабочей стор...