КОНОНОВ ЛЕВ ВЛАДИМИРОВИЧ

  Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов и интегральных схем и может быть использовано в электронной промышленности для утонения полупроводниковых кристаллов без повреждения годных активных и пассивных элементов. Сущность изобретения: способ включает нанесение парафина на рабочую сторону пластины для планаризации рельефа , укладку ее рабочей стор...

  Сущность изобретения: суспензия содержит , мас.%: микропорошок электрокорунда 40-42; неионогенное поверхностно-активное вещество Синтамид 5 0,04-0,2; желатин 0,02-0,1; глицерин 0,3-0,9; аминоуксусная кислота 0,15-0,45; вода - остальное. Характеристики: выход годных пластин 74,7-77,2% от запуска.2 табл. СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (я)5 С 09 G 1/02 ГОСУДАРСТВЕНН...