PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Пантина Л.И.

Изобретатель Пантина Л.И. является автором следующих патентов:

Способ очистки триалкилалюминия и триалкилгаллия

Способ очистки триалкилалюминия и триалкилгаллия

 Изобретение касается металлорганических соединений, в частности способа очистки триалкилалюминия и триалкилгаллия, используемых в качестве полупродуктов при синтезе полупроводниковых соединений. Цель - повышение степени чистоты продукта и упрощение процесса очистки. Процесс ведут ректификацией исходной смеси. Продукт ректификации в парообразном состоянии при температуре на 3 - 5С выше тем...

1793692