ЛЕГЕНКИНА ВАЛЕНТИНА АЛЕКСАНДРОВНА

  Использование: в электронной, радиотехнической промышленности, в производстве детекторов ИК-излучения. Сущность изобретения: на пластину стекла наносят защитную маску из слоя хрома толщиной 0,4-0,45. мкм и слоя меди толщиной 2,8-3 мкм, формируют слой фоторезиста, создают фотолитографией рисунок каналов и травят при 25-30°С в растворе следующего состава в об. %: фтористово...