Гумаров Г.Г.
Изобретатель Гумаров Г.Г. является автором следующих патентов:
Способ получения мезотаксиальных слоев дисилицида кобальта в кремнии
Использование: технология изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем. Сущность: полированные пластины кремния закрепляют на неохлаждаемой дюралевой кассете. Ионную имплантацию проводят в вакуумной камере ионами кобальта с энергией 90 кэВ дозой 21017 см-2 и плотностью ионного тока более 40 мкА/см2 При этом получают слой с постоянной решетки 0,5365 нм толщиной около 60 нм....
1795821