Грачев А.С.

  Использование: изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии термического окисления в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. Устройство состоит из нагревателя и кварцевого реактора, расположенного внутри его. Реактор разделен на камеру окисления, расположенную в рабочей зоне нагревателя, и камеру сгорания, часть которой, снабженная трубкой дл...