КОТОВ ВЯЧЕСЛАВ ВЛАДИМИРОВИЧ

  Назначение: изобретение относится к электроизмерительной технике, может быть использовано в промышленных условиях в качестве экспресс-контроля и позволяет повысить качество контроля поверхности полупроводниковых пластин. Сущность изобретения: измеряют в темноте зондом Кельвина потенциал поверхности контролируемой пластины и образца сравнения . Повторяют измерения при освещении по...