АЛЬФРЕД ТЕЛЕН

  Использование: нанесение покрытий распылением мишени в вакууме с высокой производительностью в электронной промышленности . Сущность изобретения: устройство содержит эмиттер электронов 9, расположенный в отдельной камере, сообщающейся с технологической вакуумной камерой 17, анод 11 генератора плазмы, генерирующего после впуска технологического газа в камеру 37 плазменный поток S,...