PatentDB.ru — поиск по патентным документам

ЗГУРСКИЙ ГРИГОРИЙ ПАВЛОВИЧ

Изобретатель ЗГУРСКИЙ ГРИГОРИЙ ПАВЛОВИЧ является автором следующих патентов:

Способ осаждения тонкопленочных структур электронной техники

Способ осаждения тонкопленочных структур электронной техники

  Использование; защита окружающей среды от отработанных токсичных газов при производстве электронной техники. Сущность изобретения: после ввода в реакционную камеру исходных реагентов, нагрева и их разложения на подложке отработанные газы нейтрализуют в оросительной колонке во взвешенных частицах раствора-абсорбента следующего состава: мас.%: гидроокись калия. 20-25; оксихлорид на...

1799402