ШИРОБОКОВ АЛЕКСЕЙ ВИКТОРОВИЧ

  Использованием комплексе оборудования по производству изделий радиоэлектронной аппаратуры, в частности в системах для производства полупроводниковых. структур, металлических и диэлектрических покрытий, магнитных слоев методом молекулярно-лучевой эпитаксии и электронно-лучевого .испарения. Сущность изобретения: установка содержит размещенные вдоль транспортной магистрали рабочие к...