Целуйко А.Ф.

  Использование: нанесение тонких покрытий в вакуумно-плазменной микроэлектронике. Сущность изобретения: улучшение качества покрытий за счет исключения влияния бомбардировки поверхности осаждаемого покрытия вторичными электронами, эмитируемыми из мишени при ионно-лучевом распылении. Перед распылением мишени между мишенью и подложкой формируют стационарное магнитное поле, параллельное повер...