КРИНИЧНЫЙ ВАДИМ ВЛАДИМИРОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и имеет целью повышение точности и стабильности измерений линейных перемещений с помощью емкостного датчика перемещений, который состоит из двух диэлектрических пластин, установленных одна над другой. На обращенных одна к другой поверхностях пластин нанесены металлические электроды, покрытие тонкой диэлектрической пленкой и образующие...