Беляева Т.Б.

 Использование: технология микроэлектроники, производство микросхем. Сущность изобретения: жидкостную химическую обработку маски после проявления выполняют в водном растворе перманганата калия и ацетона при следующем соотношении компонентов, мас.%: KMnO4 2 - 6; CH3COCH3 35 - 45, вода - остальное до 100% в течение 0,5 - 5 мин при комнатной температуре, что обеспечивает экологическую безопас...