ТЮРИН ЮРИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Использование: в области микроэлектроники и может быть использовано для контроля в процессе, производства интегральных схем. Сущность изобретения: диафрагма устройства снабжена п щелями (, где , L- размер фотоэлемента фотоэлектрического преобразователя в направлении сканирования образца), размер которых в поперечном направлении (где R - минимальный размер обнаруживаемой частицы;...