НЕМЦЕВ ВИКТОР СИЛИВЕЕВИЧ

  Использование: в области измерений электрофизических параметров поверхности твердых тел для контроля качества подготовки поверхности материалов и структур электронной техники и микроэлектроники. Сущность изобретения: над исследуемой поверхностью помещают отсчетный электрод вибрирующего конденсатора, измерения электрического потенциала проводят в одной и той же проекции для двух з...