КВЕЛДЕ ЮРИС АНТОНОВИЧ

  Использование: в технологии полупроводниковых приборов, в частности в способах контроля процессов ионного травления пленок. Сущность изобретения: облучают пленку ультрафиолетовым излучением. Регистрируют зависимость изменения фотото- .ка от времени травления, по виду которой определяют момент окончания процесса. 2 ил. -. -.. „„Ы2„„1806419 А3 СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ...