ВАРАВИН ВАСИЛИЙ СЕМЕНОВИЧ

  Использование: полупроводниковая техника. Устройство включает горизонтальный кварцевый реактор и установленный внутри него подложкодержатель в виде квазизамкнутого обьема, соединенного с эффузионной ячейкой для ввода одного из компонентов. Подложкодержатель выполнен в виде кварцевой трубки, снабженной пористой перегородкой, отделяющей секцию для размещения халькогена, параллельно...