ЛУБНИН АЛЕКСАНДР АРКАДЬЕВИЧ

  Использование: в микроэлектронике, в частности в технологии изготовления толстопленочных микросхем и микросборок, и может быть использовано для термообработки паст, окисляющихся на воздухе. Сущность: печь содержит муфельный канал со средствами подачи инертного газа и удаления газообразных продуктов. На входе и выходе печи устанавливаются шлюзовые камеры и сопла для подачи инертно...