ГРОМОВ МИХАИЛ РОБЕРТОВИЧ

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (л)5 G 01 К 27/12 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4866484/25 {22) 18.09,90 (46) 07.04.93, Бюл. N. 13 (71) Московский институт электронной техники (72) А,И,Мочалов, B.Ï,Ïîëÿêoâà, В,Г,Фадин, М.Р,Громов, А.В,Татарченко, Н,Р.Рошан и О.А.Чаплыгин (56) Авторск...

  Назначение: датчик с предложенным чувствительным элементов предназначен для экспресс-анализа содержания водорода в газовых средах и может быть использован в электронной, химической и др. промышленностях. Сущность изобретения: в чувствительном элементе датчика водорода, включающем сформированную на полупроводниковой подложке МДП-структуру и нагреватель , размещенный на подложке, э...