ЯФАРОВ РАВИЛЬ КЯШШАФОВИЧ

  Использование: микроэлектроника, ва- -куумно-плазменное травление поверхности арсенида галлия в смеси химически активных газов. Сущность изобретения: для повышения анизотропии и снижения дефектообразования при травлении арсенида галлия процесс травления ведется в высоковакуумном ( - Па), низкоэнергетичном (20-50 эВ) СВЧ газовом разряде с нагревом пластин до 200-220DC и использова...