КОЛОСОВ ВЯЧЕСЛАВ ВИКТОРОВИЧ

  Изобретение относится к акустике и акустоэлектронике, в частности к области нанесения диэлектрических и пьезоэлектрических пленок на поверхность подложки методом плазменно-реактивного распыления металлической мишени в вакууме. Пленки могут быть использованы в качестве источников и приемников акустических колебаний, применяемых в медицинской диагностике, акустическом зондировании...