МАИЛЯН КАРЕН АНДРОНИКОВИЧ

  Использование: нанесение поли-п-ксилиленовых покрытий на изделия в радиотехнической , электронной и др. отраслях промышленности. Сущность изобретения: устройство содержит камеру сублимации с емкостью для материала покрытия, камеру пиролиза, емкость предварительного охлаждения и камеру покрытия с центральным патрубком. Он соединен с вакуумопроводом. Емкость предварительного охлажд...