ПОЛЬКИНА ОЛЬГА ИВАНОВНА

  Изобретение относится к измерительной технике, а именно, к бесконтактным оптическим методам измерения шероховатости поверхности. Цель изобретения - повышение производительности измерения за счет исключения механического сканирования и процедуры статистической обработки результатов измерений. Когерентное излучение разделяют на два когерентных пучка , устанавливая между ними угол,...