ТОМАЩЕНКО СЕРГЕЙ НИКОЛАЕВИЧ

  Изобретение относится к технологическому оборудованию микроэлектронной промышленности и может быть использовано при изготовлении монокристалльных модулей на БИС. Цель изобретения - упрощение конструкции и повышение технологичности ее изготовления. Устройство содержит основание 14 со стойками, микроскоп 1с системой освещения, манипулятор совмещения, прозрачный держатель 8 подложки...