Янин С.Н.

 Изобретение относится к плазменной технике и предназначено для нанесения пленок из металлов и их соединений в различных отраслях машиностроения. Магнетронная распылительная система содержит мишень, магнитный блок и полый анод, соединенный с системой подачи газа. Анод выполнен в виде замкнутого контура, имеющего по всей своей длине инжекционные отверстия, направленные в центр зоны магнетро...