Буйко Л.Д.

 Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологическом процессе изготовления кристаллов ИМС на этапе формирования защитного пассивирующего покрытия. Способ контроля коррозионной стойкости пленочных материалов сокращает время контроля, приближает условия контроля к условиям эксплуатации металлизированных пленок кристаллов интегральных микросхем с защитным пасс...