ЛУЗАНОВ ВАЛЕРИЙ АЛЬБЕРТОВИЧ

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (я)5 С 23 С 14/46, 14/02 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Щ ф К АВТОРСКОМУ СВИ4ЕТЕЛЬСТВУ (21) 4878629/21 (22) 30.10.90 (46) 30.04.93. Бюл, ¹ 16 (71) Институт радиотехники и электроники АН СССР (72) И. М. Котеля нский, В.А,Луза нов и И.А.Шкляр (56) Тезисы Всесоюзной конференции "Ионно-...

  Использование: электронная техника. Сущность способа: при изготовлении фотокатода путем последовательного осаждения на подложку проводящего и фотоэмиссионного слоев, подложку и выращенный на ней проводящий слой-последовательно подвергают ионной обработке, а перед осаждением фотоэмиссионного слоя доращивают стравленный при обработке проводящий слой до заданной толщины. Это позволя...