ЧИГИРЬ ГРИГОРИЙ ГРИГОРЬЕВИЧ
Изобретатель ЧИГИРЬ ГРИГОРИЙ ГРИГОРЬЕВИЧ является автором следующих патентов:
Устройство для измерения распределения поверхностного потенциала на пластине при изготовлении рабочих модулей с интегральными схемами
Использование: изобретение относится к приборам и устройствам для измерения поверхностного потенциала. Сущность изобретения: цель изобретения - повышение точности измерения за счет обеспечения возможности локального исследования поверхности пластины на каждом участке, соответствующем рабочему модулю, Устройство включает столик 3 для размещения пластины, вибрирующий зонда 1 для съ...
1812525