СТЕПАНОВА НАТАЛЬЯ ИЛЬИНИЧНА

  Использованйе: изобретение относится к области микроэлектроники и может найти применение в изготовлении коммутационных плат, пленарных конденсаторов, датчиков концентраций веществ в газовой фазе и т.п. Сущность изобретения: в процессе оксидирования слоя алюминия в нем создают градиент скорости оксидирования, направленный от токоподвода к противоположному от него краю, в результат...