Хаханова М.И.

  Применение: относится к микроэлектронике, в частности к технологии изготовления интегральных схем. Сущность: на поверхности полупроводниковой пластины формируют каналоограничительные области путем локального окисления, формируют плавающий затвор, обрабатывают структуру в водном растворе фтористоводородной кислоты состава 1:100-1:10, окисляют плавающий затвор, а затем формируют управляющи...