ФАХУРТДИНОВ ЮРИЙ ЯКУБОВИЧ

  Использование: микроэлектроника, технология изготовления кремниевых интегральных стабилитронов, входящих в состав интегральных микросхем. Сущность изобретения: формирование на кремниевой подложке со скрытым и эпитаксиальным слоями интегрального стабилитрона, причем размер окна в маскирующем диэлектрике на поверхности структуры для создания анода стабилитрона путем локальной диффу...