PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Гайдук С.И.

Изобретатель Гайдук С.И. является автором следующих патентов:

Способ изготовления полупроводниковых структур со ступенчатым профилем островков поликристаллического кремния

Способ изготовления полупроводниковых структур со ступенчатым профилем островков поликристаллического кремния

 Использование: микроэлектроника, технология изготовления БИС и СБИС. Сущность изобретения: при формировании полупроводниковых структур со ступенчатым профилем островков поликристаллического кремния травление фоторезистивной маски проводят селективно по отношению к слою поликристаллического кремния, а конфигурацию маски изменяют путем образования уступа относительно края островка поликрист...

1814445

Способ изготовления биполярных интегральных схем с поликремниевым резистором

Способ изготовления биполярных интегральных схем с поликремниевым резистором

 Использование: изобретение относится к технологии изготовления интегральных схем. Сущность изобретения: на кремниевой подложке формируют боковую изоляцию биполярных транзисторов путем селективного окисления эпитаксиального слоя. После создания тонкого слоя диэлектрика на поверхности изолированных областей формируют область поликремниевого резистора требуемой конфигурации, пассивирующий сл...

1819070