Пригода Е.И.

 Использование: технология изготовления полупроводниковых приборов на фосфиде галлия. Цель: повышение качества травления за счет повышения полирующих свойств травителя и сохранения топологии при глубоком (40 50 мкм) травления. Сущность изобретения: формирование углублений в пластинах фосфида галлия 100 проводят в травителе, содержащем иодат одновалентного металла 5 15 мас. соляную кислоту...