ФИЛАТОВА АЛЕВТИНА НИКОЛАЕВНА

  Изобретение относится к технологии изготовления кварцевых подвесов акселерометров размерным травлением. Сущность изобретения заключается в том, что селективное травление кварца проводят в два этапа: на первом с обеих сторон заготовки одновременно в зоне паза подвеса формируют канавки на глубину, суммарную величину которых назначают равной номинальной толщине рабочих перемычек, за...