БЕРИШВИЛИ ЗАУРИ ВАЛЕРЬЯНОВИЧ

  Изобретение касается нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано при производстве изделий в электронной , приборостроительной, оптической и других отраслях промышленности. В устройстве требуемая стехиометрия достигается при создании в пространстве непосредственно над мишенью требуемого количественного соотношения атомов различных компонентов за счет определения размеро...