СМЕЛОВСКАЯ ЛЮДМИЛА НИКОЛАЕВНА
Изобретатель СМЕЛОВСКАЯ ЛЮДМИЛА НИКОЛАЕВНА является автором следующих патентов:
![Негативный фоторезист Негативный фоторезист](https://img.patentdb.ru/i/200x200/af43493d9024402daf92b378b6d144f5.jpg)
Негативный фоторезист
Область использования: фотолитографические процессы. Сущность изобретения: негативный фоторезист содержит, г: синтетический циклизованный изопреновый каучук 24,9-65,0; 2,6-бис(4 -азидобензаль)-4-метилциклогексанон 1,0-4,5; ксилол 140,0-200,0. Указанный каучук имеет средневесовую ММ 48000-65000, среднечисловую ММ 15000-20000, степень циклизации 100%. Снижается микронеровность форм...
1817861