ДЖУМАНОВА НАДЕЖДА ТОРАЕВНА

  Изобретение служит для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы травлением. Сущность: при разделении полупроводниковых пластин на кристаллы используют двухстороннее травление в жидкостном травителе по узким промежуткам , вскрытым в маскирующем покрытии. Рисунок промежутков с обеих сторон пластин одинаков. Для каждого травителя имеется предельная величина ширины доро...