АГАБАБЯН АННА СТЕПАНОВНА

  Использование: изобретение относится к области приборостроения, а именно к тонкопленочным тензорезисторам и может быть использовано при изготовлении интегральных тензодатчиков. Изобретение обеспечивает понижение температуры формирования тонкопленочных тензорезисторов при изготовлении интегральных тензодатчиков с металлическим упругим элементом и температурную инвариантность рабоч...