ФОМИНЫХ НИКОЛАЙ АРКАДЬЕВИЧ

  Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в полупроводниковом производстве для селективного, прецизионного травления кремний-металлсодержащих слоев. Целью изобретения является повышение селективности травления кремний-металлсодержащего слоя относительно диэлектрика при сохранении высокой точности воспроизведения размеров элементов формируемого рисунка. Дл...